
| Крок решітки | 20 мкм |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Теплове розширення | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Роздільна здатність | 0,5-1-5 мкм | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Повторюваність | ±1 крок | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Макс. швидкість м/хв | 60 (5 мкм); 20 (1 мкм) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Тип виходу | ТТЛ / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Макс. прискорення | 20 м/с² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Захист | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Блок живлення | 60 мА макс. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Фазовий зсув | 90°±5° електричний | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Робоча температура | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Температура зберігання | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Вологість | 100% не ущільнений |